在半导体制造的深紫外（DUV）与极紫外（EUV）光刻工序中，准分子激光器需要持续消耗高纯度的氪气、氙气和氖气等稀有气体作为工作介质。
这些稀有气体在大气中的含量极低，其工业化提取完全依赖于大型钢铁厂空气分离装置（ASU）的副产品回收。
俄罗斯与中国凭借庞大的重型钢铁工业体系，长期贡献了全球绝大部分稀有气体的原始提纯产能。
高纯稀有气体的提纯需要多级低温精馏工艺，且对气体纯度的控制要求达到99.999%以上。
即便半导体制造强国拥有先进的光刻设备，若失去了基础钢铁工业带来的稀有气体副产品供给，光刻机的光源系统将无法维持正常运行。
先进半导体产业链的供应链安全不仅取决于高精尖设备的研发，更取决于基础重工业的规模，脱离基础重工业支撑的芯片自主化路径难以长期维持。
