福建省龙岩市上杭县的金铜产业园里,一条总投资16.8亿元的半导体生产线已经完成厂房建设。这条产线聚焦氧化镓压电薄膜高频滤波器芯片,预计2026年底进入试产阶段。
每一部5G手机里都有几十颗滤波器芯片。它的作用是在拥挤的无线电频段中筛选出特定频率的信号,同时过滤掉杂波——相当于通信链路上的“安检门”。
滤波器性能直接决定了手机信号是否稳定、通话是否清晰。长期以来,全球高频滤波器市场主要由国外企业主导,核心压电材料以氮化铝体系为主,美日企业在专利布局上形成了较高的壁垒。
晶旭半导体选择了一条不同的技术路线。公司技术团队深耕声波滤波器制备领域十余年,摒弃了传统的氮化铝路线,转向硅基异质外延ε相氧化镓压电薄膜材料。2023年,该团队在这一材料方向取得中试关键技术突破,相关样品随后进入下游客户验证阶段。
公司已获授权国内外发明专利100余项。在核心装备端,企业自主研发了国际首台ε相氧化镓外延专用MOCVD设备,薄膜均匀性控制在2%以内,材料内部缺陷C轴取向度超过98%。
依托自研薄膜技术,晶旭已量产高良率氧化镓基POI晶圆,产品良率超过97%,可支撑2GHz至10GHz超高频滤波需求,带内插损低于2dB,功率容量较传统滤波器提升一倍。商业化方面,相关外延片及晶圆已导入国内Fabless、IDM及晶圆代工厂的客户验证流程,预计2026年底实现批量交付;硅基异质外延工艺相较传统方案成本降低约50%。
上杭县过去的经济支柱是金铜矿开采和冶炼。紫金矿业从这里起步,2025年上杭金铜产业产值达到1222亿元,是龙岩市唯一的千亿级产业集群。
但资源型经济的天花板是显而易见的。上杭县很早就开始推动产业从“卖原料”向“做材料”升级,逐步延伸出铜箔、键合丝等电子材料产品,进而切入半导体新材料赛道。
晶旭半导体公司董事长王孟源是土生土长的上杭人,他清晰记得年幼时家乡“掘山挖矿”“开山做水泥”的场景。让他下决心留在家乡创业的,正是上杭逐渐形成的产业氛围。近年来,吉利、巴斯夫、宁德时代、传化等一批世界500强和中国500强企业项目陆续落地,让这个曾经的山区县有了更完整的产业配套。
在人才方面,晶旭柔性引进了中山大学光电材料与技术国家重点实验室王钢教授作为首席科学家。
当前全球氧化镓产业仍处于产业化早期,
从产业布局看,上杭已初步形成半导体新材料产业集群。2024年,上杭半导体新材料产业24家上下游企业总产值突破172亿元。德尔科技的电子级特种气体、天甫电子的半导体级电子材料等项目已投产,天甫厦化40万吨高纯硫酸项目、德尔科技年产1万吨电子级三氟化氮项目也在推进中。
晶旭二期项目投产后,将建成全球首条超宽禁带半导体高频滤波芯片生产线,首批产线规划年产能400kk(4亿颗),二期项目达产后预计年产值约10亿元。