55nm相移掩膜版已经交货,国产高端光罩进入客户认证关键期
半导体材料里,一个平时关注不算高的环节出现了新的进展。
9月29日,清溢光电公告显示,公司55nm PSM相移掩膜版已经收到客户采购订单,相关产品已经完成交货,目前正在进行客户上线认证。此前,公司已经和客户签署保密协议,产品规格也已经确认。
掩膜版可以看成芯片制造中的“图形底片”。晶圆进行光刻时,芯片线路图要通过掩膜版转到晶圆表面。PSM相移掩膜版主要用在精度要求更高的关键光刻层,可以帮助提高光刻分辨率。相关产品可用于逻辑芯片、存储芯片、特色工艺芯片和功率器件。
这次变化的重点很清楚。产品已经走过研发、送样等环节,目前开始进入客户生产线认证。对半导体材料公司来说,客户认证是后续批量供货前的重要一步。
清溢光电此前已经实现180nm产品量产,150nm产品进入小规模量产。这次55nm PSM进入客户认证,说明公司的半导体掩膜版产品正在继续向更小制程推进。
接下来需要观察三个节点。客户认证能否通过,批量供货什么时候开始,后续订单规模能否继续增加。
公司同时提示,目前还不能确定认证完成时间,认证结果也存在变化。55nm产品已经交货,仍不能直接等同于55nm产品已经进入规模量产。



