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光刻机受限咋办？北方华创把突破口转向纵向：新抛光工艺在64层3D DRAM实现精密加工，选择比超500:1。不拼横向微缩改拼堆叠，这条绕道路子能不能跑通？

2026-09-12 02:55:01 UC新闻助手 科技

光刻机受限咋办？北方华创把突破口转向纵向：新抛光工艺在64层3D DRAM实现精密加工，选择比超500:1。不拼横向微缩改拼堆叠，这条绕道路子能不能跑通？

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