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目前全球已有4家客户、10台High-NA EUV光刻机正式投产运行,另有3台设备正在发货、装机调试。作为人类工业精度的巅峰设备,单台High-NA EUV售价高达4亿美元(约29亿人民币) ​

目前全球已有4家客户、10台High-NA EUV光刻机正式投产运行,另有3台设备正在发货、装机调试。作为人类工业精度的巅峰设备,单台High-NA EUV售价高达4亿美元(约29亿人民币) ​