新加坡联合早报今天(9月3日)报道:“荷兰半导体设备巨头阿斯麦的关键供应商、德国蔡司集团称,中国在研发尖端光刻机设备方面仍落后约15年。”
评几句:慢慢来咯。盾构机当年被德日法垄断,单台贵到七个亿。高铁起初连信号制动都要买,现在中国也成熟起来了。汽车曾被调侃“抄都抄不利索”,今天中国新能源开始攻城掠地。大飞机更别提了,从运十断档到C919首飞隔了多久?哪个不是落后几十年起步呢?
先看看蔡司到底说了什么。蔡司半导体部门负责人Frank Rohmund接受彭博采访时判断,中国要做出成熟的EUV极紫外光刻机,大约还需要15年。
他自己紧接着又补了一句:中国现在到底走到哪一步,其实很难准确量化。
所以这个“15年”,不是一张盖了章的倒计时日历,更像行业龙头根据自己掌握的信息作出的估计。
但蔡司确实有资格说这句话。
ASML现在是全球唯一能够商业化生产EUV光刻机的企业,而光刻机里面最难啃的一块——超高精度反射光学系统,核心供应商就是蔡司。
今天一台最先进High-NA EUV设备售价已经达到3.5亿至4亿美元,整机150吨左右,里面的锡滴每秒要被激光轰击5万次,蔡司的镜面精度甚至要求达到亚纳米尺度。
这东西确实不是拆一台机器、画几张图纸就能复制。
ASML、蔡司自己做EUV,也不是三五年冒出来的。
ASML第一台可工作的EUV原型机2001年就出现了,真正等到商业化生产先进芯片,已经接近20年;现在的High-NA EUV,又是蔡司、ASML以及约1200家合作伙伴连续20多年研发、烧掉数十亿欧元才磨出来的。
所以中国现在落后,不丢人。
真正有意思的是,追赶已经不是停留在PPT上了。
路透社去年12月披露,中国团队2025年初已经造出一台EUV原型设备,能够产生EUV光源,目前正在测试,只是还没有制造出可工作的芯片。
最大的难题之一,恰恰就是蔡司最擅长的高精度光学系统。
再往下一档看DUV。
今年7月,有消息称上海一家企业已经开始制造国产深紫外光刻设备,计划今年生产5台、明年约20台。
性能、可靠性、晶圆处理速度到底怎么样,现在仍然需要实际验证,但消息一出来,ASML一天市值一度蒸发约600亿欧元。
市场至少已经开始认真讨论:中国国产光刻设备什么时候会真正进入竞争。
这场面是不是有点眼熟?
1997年修西康铁路秦岭隧道的时候,中国花了7亿元,从国外买回来两台硬岩掘进机。
不是一台7亿,是两台7亿。
那时候核心设备就是别人说多少钱,你基本只能掏多少钱。
现在,中国中铁研制的盾构机已经累计超过1400台,连续6年产销量世界第一,出口30多个国家。
高铁也是一样。
2010年以前,中国不少轨道交通信号系统主要依赖进口;后来CBTC、电空制动等关键技术逐步实现自主化。
这不是哪一天突然“弯道超车”,而是一套系统、一块零件、一项标准慢慢啃下来的。
大飞机更慢。
运-10在1980年9月26日首飞,后来没有定型投入航线。
到了2017年5月5日,C919才第一次飞上天空;2023年5月28日,又经过6年试飞取证,才完成第一次商业载客飞行。
从运-10立项算到C919首飞,中国的大飞机梦想走了整整47年。
汽车就更不用说了。
几十年前中国汽车工业还在换市场、学技术,现在到了2026年8月,比亚迪单月海外销量已经达到18.9万辆,同比增长134.5%,今年上半年甚至第一次出现海外收入超过中国国内收入。
这些例子不是为了证明:中国光刻机明天一定就能追平ASML。
光刻机可能比盾构机、汽车甚至大飞机都难。
因为它真正考验的不是某一家公司的聪明程度,而是光源、光学、精密运动、真空、材料、测量、控制软件和晶圆工艺背后成百上千家企业能不能同时达到极限水平。
差一个零件,机器就跑不稳。
精度够了,吞吐量不够也不能量产。
机器能曝光,良率上不去照样没有商业价值。
所以蔡司说15年,可以听。
瑞银说10年内难以追上,也可以听。
但最有意思的一句话,反而还是蔡司自己说的。
Rohmund认为,如果西方继续把出口限制扩大到更老的DUV设备,不一定能阻止中国,反而可能加速中国创新。
这句话才真正值得琢磨。
领先者最大的优势,是几十年积累。
追赶者最大的动力,是没有退路。
15年长不长?
当然长。
可对于工业史来说,15年有时候真没那么长。
真正该看的不是哪位高管今天喊“领先15年”,而是五年、十年以后,中国自己的设备能不能稳定开机、稳定曝光、稳定跑晶圆,把良率和产能一点一点做上去。
盾构机走过这条路。
高铁走过。
大飞机还在走。
光刻机,无非再走一遍更难的。

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