俄罗斯光刻机开发商将打造国产电子显微镜取代进口

2026年7月23日，俄罗斯信息技术门户网站cnews.ru报道，泽列诺格勒纳米技术中心在研制出350纳米光刻机之后，又将开发国产扫描电子显微镜。这款芯片检测设备旨在完全替代因制裁而被封锁的日本供货。

🔹与ZNTC的合同

据CNews了解，开发面向工业应用的芯片检测扫描电子显微镜的合同，被授予了“泽列诺格勒纳米技术中心”股份公司（ZNTC）。

这份代号为“检查员”的研发合同于2026年7月6日由俄罗斯工业和贸易部与ZNTC签署。合同金额为23.7亿卢布（译者注：约合2864万美元）。根据政府采购门户网站的信息，最终价格仅降低了50万卢布（降幅不到0.1%）。

此次招标仅收到一份来自ZNTC的申请，招标被宣告无效，合同按单一供应商方式签署。

全部工作须在2030年6月30日之前完成。

🔹需要研制什么

ZNTC须开发一款面向工业应用的扫描电子测量显微镜（CD-SEM），用于检测直径为100毫米、150毫米和200毫米的半导体晶圆。样机将按200毫米晶圆规格制造。

该设备用于对硅晶圆表面拓扑图形的关键尺寸进行无损检测与测量，包括线宽、接触孔直径、周期性结构单元间距以及线条边缘粗糙度。

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该研制设备的功能对标物是日本日立公司的CD-SEM S-9380和CG4000型设备，这些设备因制裁已停止对俄供应。目前并不存在直接的国产同类产品。

关键配套部件——电子枪、电子光学镜筒、工作腔室、真空泵、晶圆上下料机构、中央控制器及软件——均须在俄罗斯本土生产。只有在征得采购方同意的情况下，才允许使用进口配套部件。

根据技术任务书要求，执行方还须将研制设备与国外最佳同类产品进行对比。设备平均无故障时间应不低于1000小时，使用寿命不少于10年。

🔹难度如何

战略伙伴咨询公司（Strategy Partners）“工业与技术”业务实践的项目负责人亚历山大·米哈伊洛夫对CNews表示：“CD-SEM是微电子领域最复杂的设备类型之一。同时需要理解的是，这份技术任务书只要求研制出样机，而非启动批量生产。向批量生产过渡所需的投资将成倍增加，还需要额外多年的研发时间并建立完整的生产基础。”

据他介绍，即便是研制一台样机，所给出的期限和预算也显得相当紧张——除非执行方目前就已拥有扎实的技术储备和一定的合作体系。米哈伊洛夫继续说道：“作为对比：日立制造的一台新设备价值高达数百万美元。因此，当前的研发预算可以被视为足以造出一台能用的同类产品，但恐怕不够实现所有组件和工艺的完全本地化。”

另一位来自微电子设备制造行业的消息人士对CNews表示，用四年时间和这笔资金，在俄罗斯造出电子显微镜是有可能的。据他称，这种设备目前并没有俄罗斯本国的配套部件，几乎需要从零开始研发。

🔹ZNTC的背景

“泽列诺格勒纳米技术中心”股份公司是俄罗斯一家从事微电子及微电子制造设备研发和生产的企业。

ZNTC此前已制造出分辨率为350纳米的光刻机，并将其交付给了“行业解决方案”公司（隶属Element集团）。

此外，正如CNews早前所报道的，ZNTC还开发了设计线宽为150纳米的电子束光刻设备，用于无掩模光刻——即在无需使用掩模的情况下制造光掩模以及在硅或其他基底上形成图形。目前已有两台样机正在进行综合测试。