俄罗斯科研团队近日完成了一种新型多光束电子光刻机的项目研发，该设备采用多阴极技术，可同时产生多束独立电子束，取代传统单束逐行扫描方式。

传统单束电子光刻曝光一片晶圆需要1.5至2周，而新方案可将时间压缩至5至7分钟，效率提升约3000倍。项目首席开发者吉瓦尔吉佐夫介绍，多阴极技术已完成实验室验证，团队成功制造出曲率半径仅1.5至2纳米的电子束源阵列，达到世界领先水平。

与国外光刻方案依赖复杂的光学分束系统不同，俄方方案直接在单一衬底上集成多个独立电子源，有望降低设备成本和基础设施要求。项目团队预计约三年后可制造出首台原型机。