硅光更新:锗硅产能供给偏紧。硅光PD芯片与电芯片均需锗硅工艺,产线架构兼容。但硅光PD产线必须将锗外延作为核心工艺模块,且锗对纯硅CMOS产线是"剧毒"污染源,需要物理隔离或专用机台,多数代工厂不愿在同一洁净室混合跑硅光PD和纯电芯片。硅光需求快速增加,一定程度上挤压了电芯片产能。锗硅CMOS代工+设备:Tower、AMAT、卓胜微(12英寸锗硅产能,申万电子)、中微公司(EPI外延设备已进入量产测试阶段,申万电子);
硅光更新:锗硅产能供给偏紧。硅光PD芯片与电芯片均需锗硅工艺,产线架构兼容。但硅光PD产线必须将锗外延作为核心工艺模块,且锗对纯硅CMOS产线是"剧毒"污染源,需要物理隔离或专用机台,多数代工厂不愿在同一洁净室混合跑硅光PD和纯电芯片。硅光需求快速增加,一定程度上挤压了电芯片产能。锗硅CMOS代工+设备:Tower、AMAT、卓胜微(12英寸锗硅产能,申万电子)、中微公司(EPI外延设备已进入量产测试阶段,申万电子);