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荷兰 光刻机巨头ASML曾表示,现在在美国的技术封锁下,中企想获取EUV光刻机几

荷兰 光刻机巨头ASML曾表示,现在在美国的技术封锁下,中企想获取EUV光刻机几乎不可能了,但是中国一直没有放弃,研发投入每年增速超过20%。
这句话真正刺眼的地方,不只是“几乎不可能”,而是全球最关键的光刻机正在被重新排队。谁能买、谁先交付、谁能维修,已经不由订单和货款决定,而要看美国划出来的技术阵营,中国必须把这当成产业战来处理。
2026年的新变化是,ASML不是没机器,也不是没需求。4月15日,ASML把全年收入预期上调到360亿至400亿欧元,还说2026年低数值孔径EUV可交付60台,2027年有能力交付80台。机器在增加,中国却被排除在高端队列之外,这才是问题核心。
1986年的美日半导体协议与本次高度相似,美国当年迫使日本限制半导体出口、配合美国企业争取市场份额,相似点是美国把产业竞争包装成规则整顿,但关键差异是日本当年身处美国同盟体系内部,中国今天有独立市场和完整制造需求,这意味着中国不会接受被动降级。
那段历史给人的警示很清楚:美国一旦发现别人的产业冲到前面,就会从自由市场退回管理贸易。1987年美国还对日本商品加税,理由是日本没有履行半导体协议。今天美国换了说法,讲AI安全、讲国家安全,本质仍是让技术流向服从美国利益。
更值得注意的是,西方先进制程正在继续抬门槛。2026年2月,ASML称High-NA EUV已具备高批量生产导入条件,新工具约4亿美元,已加工50万片晶圆,运行时间约80%。这意味着中国不是停在“买不到EUV”这一关,而是看到对方下一道门也在加锁。
韩国企业的动作也说明,高端设备正被AI供应链提前抢占。2026年3月,SK海力士披露到2027年底向ASML采购约79亿美元EUV设备,用于HBM和先进DRAM。HBM是AI算力的关键,中国若只盯先进逻辑芯片,会低估内存和封装环节的连带压力。
ASML自己当然清楚中国市场的重要性。4月22日,ASML在荷兰费尔德霍芬年度股东大会上说,公司不会成为芯片产业瓶颈;同场合其财务负责人提到,中国预计占今年销售约20%。这20%不是小数,而是美国限制下仍压不住的市场现实。
美国的新动作更加直接。4月16日,MATCH Act修订版虽然收窄范围,但仍把ASML浸没式DUV光刻机列入新的全国性限制,还要求覆盖设施的维修服务申请许可证。美国卡的不再只是“先进设备进口”,而是想把中国晶圆厂的存量设备也管起来。
这比单纯禁售更麻烦。新机器买不到,企业还能调产线;老机器修不了,产能稳定性就会被掐住。晶圆厂最怕不确定,今天等许可,明天等备件,后天等软件升级,产线就会从工业资产变成政治风险,中国必须把维修、零部件、软件适配当成硬任务。
2018年中芯国际下单购买EUV,原计划2019年到货。这个节点说明,中国企业早就知道EUV的重要性,也愿意按商业规则交易。问题不在中国不买,而在美国不让正常交易完成,这笔账不能被“技术落后”四个字盖过去。
ASML预计2026年来自中国市场营收占比约20%。这个数字恰好说明,美国可以压低中国采购上限,却很难抹掉中国需求。中国是全球芯片消费和制造扩张的重要市场,谁把中国排除出去,谁就在给未来竞争者留下空间。
中国的破局不应再被理解成“明天造出一台EUV”。真正路线应是三条腿走路:成熟制程稳住基本盘,先进封装补足系统性能,国产设备在真实产线上反复验证。只要产线愿意给国产设备试错机会,技术短板就会变成可量化、可迭代的工程问题。
北方华创14nm刻蚀设备规模化量产,华海清科12英寸CMP设备在28nm及以上成熟制程应用,芯源微涂胶显影设备通过产线验证。这些不是口号,而是设备链开始进入工厂的信号,国产化最怕没有场景,现在场景已经被封锁逼出来了。
上海微电子SSX600系列ArF干式光刻机被参考资料列为已规模化量产,虽然它不能替代EUV,但它能支撑成熟制程的一部分需求。成熟制程不是低端代名词,汽车、工业控制、电力电子、通信设备都离不开它,中国先把这些盘子稳住,就能稳住产业根基。
接下来,美国大概率还会继续把限制做细。EUV、DUV、维修、零部件、软件、客户清单,都会成为它的工具箱。可限制越细,全球产业链越会看到风险:今天中国被卡,明天其他国家也可能因不合美国意愿被卡,这会削弱西方规则的信用。
ASML说中企想获得EUV几乎不可能,这句话可以当作现实判断,却不能当作中国道路的结论。中国要承认差距,也要看清机会:别人把门关上,中国就必须把门锁、门轴、钥匙和整栋厂房都研究透。到2026年5月,这已经不是买一台机器的故事,而是中国半导体体系重建的开始。