荷兰光刻机巨头ASML表示,现在在美国的技术封锁下,中企想获取EUV光刻机几乎不可能了,但是中国一直没有放弃,研发投入每年增速超过20%。 2018年那会儿,中芯国际下了单要买EUV,本来计划2019年就能到货。钱那是真金白银付出去的,结果机器呢?一直没影儿。 不是造不出来,也不是客户变卦不要了,而是美国那边一路施压,最后硬生生把荷兰政府和ASML都给推到了墙角,动弹不得。 最初卡的是高端EUV,后来这口子是越收越紧,连部分的DUV设备也被盯上了。 要知道ASML虽然是荷兰公司,但它的高端设备里有不少美国的核心技术,美国就拿这个当筹码,逼着荷兰政府听话,出口许可证到期了就不续签,还一次次开会施压,说什么“安全风险”,说白了就是不想让中国拿到先进技术。 咱们中国从来不是那种被人一卡就垮的软柿子,你越封锁,我们越要自主研发。这些年在光刻机领域的研发投入每年增速都超过20%,全国研发经费强度都到了2.8%,国家大基金三期砸了3400多亿元专攻设备与材料,各地也给了不少优惠政策,就是要把这个卡脖子的难题解决掉。 美国以为封锁能让我们妥协,殊不知这反而倒逼我们加快了自主研发的脚步,以前可能还会纠结要不要自研,现在所有人都明白,必须靠自己,别人的东西再好,关键时刻人家不给,你一点办法都没有。 现在美国的封锁越来越狠,不光是禁售整机,连软件更新、维修备件都要卡,就是想让我们就算有了旧设备,也迟早因为没法维护而报废。 他们觉得这样就能切断我们的半导体产业链,可他们想错了,中国的工程师们一直在拆解学习,边用边找替代方案,自主修复模块、攻克核心卡点,一步步缩短对国外的依赖。 A股半导体企业2025年研发投入都突破680亿元了,头部设备企业增速超50%,每一分钱都花在刀刃上,就是要在光源、物镜这些核心技术上实现突破。 ASML其实也挺无奈的,中国市场本来是块大蛋糕,业务占比一度超过40%,可在美国的压力下,只能放弃这块市场,看着订单断崖式下滑。 它虽然是全球光刻机巨头,垄断着EUV技术,但在大国博弈面前,还是得受美国的牵制,毕竟核心技术和资本都有美国的影子。 现在ASML的高端EUV光刻机,中国厂商连排队的资格都没有,不是没钱买,是人家明着说“原则性不卖”,这背后全是美国的操控。 美国这种技术封锁的做法,其实是违背市场规律的,也损害了全球产业链的稳定。半导体产业本来是全球化分工,每个国家都有自己的优势,可美国为了霸权,强行把技术问题政治化,搞单边制裁和封锁,最后只会让自己越来越孤立。中国一直在坚持自主研发,但也不是要闭门造车,我们只是不想在关键技术上被别人卡脖子,不想重蹈被人拿捏的覆辙。 这些年国产光刻机的进步有目共睹,上海微电子的28纳米光刻机已经投入实用,国内企业研发的蚀刻机、薄膜沉积设备也进入了更先进的制程,配套材料也在批量试产,国产化率从2020年的约10%提升到了2024年的35%,这就是我们努力的成果。 美国的封锁虽然给我们带来了不少困难,但也让我们更加清醒地认识到,核心技术是买不来、讨不来的,只能靠自己研发。 现在全国上下都憋着一股劲,研发投入持续加码,高校和企业都在攻关EUV的核心技术,中科院已经完成了13.5nm波长的闭环验证,功率也迈过了百瓦门槛,虽然离大规模量产还有距离,但已经打开了一扇门。 美国越是想堵死我们的路,我们越要闯出一条自己的路,这不仅是为了半导体产业的发展,更是为了国家的科技自立自强。 说到底,美国的技术封锁只能得逞一时,不可能得逞一世。中国的研发投入一直在增加,技术人才一直在积累,产业链一直在完善,只要我们坚持下去,就一定能突破EUV光刻机的技术瓶颈。 到时候,美国的封锁也就失去了意义,而中国也会在高科技领域真正站稳脚跟,不再受别人的牵制。 这一天可能不会来得太快,但我们有耐心、有决心,也有能力实现这个目标,毕竟历史已经证明,中国从来不怕封锁,越封锁越强大。
