荷兰光刻机巨头ASML表示,现在在美国的技术封锁下,中企想获取EUV光刻机几乎不可能了,但是中国一直没有放弃,研发投入每年增速超过20%。
2026年3月,荷兰ASML总部的大屏幕上,股价曲线像滑梯一样往下掉,与此同时,几万公里外的深圳某私募基金办公室里,几个研究员盯着K线图沉默。
他们心里清楚,这波行情背后,是一台迟迟没到的机器,2018年签的合同、全额支付的1.5亿美元、原定2019年交付的EUV光刻机,到现在,连影子都没见着。
这台光刻机就好比半导体产业链上最关键的心脏,卡在那儿不动,整条产业链都跟着紧张,中芯国际早就把钱付清了,可因为美国施压,荷兰那边根本不敢发货。
美国人最开始只想卡住顶尖EUV,后来发现这样还不够狠,于是连零部件断供、维修人员不能入境,甚至已卖出的机器软件升级都得审批,目标明确,让中国芯片产业一直在成熟制程上徘徊,连喘口气的机会都不给。
ASML虽口称“遵循原则”,语气云淡风轻,实则心如刀割,往昔,中国市场近乎撑起其半壁营收,如今,这块“蛋糕”却被无情切去一大块。华尔街投资人开始用脚投票,管理层也不再只是谈合规,更多是担心利润和议价权流失,这种自伤式操作,砸得不轻。
但封锁也没能堵住所有路,国内投入没停,大基金三期拿出930亿人民币,每年研发投入保持两成以上增速,上海临港为光刻企业补贴、减税,此举用意昭然,莫盼他人网开一面,当自强自立,先筑牢自身根基,方为当务之急。
这么多投入下去,总算是看到成果了,哈工大在 13.5 纳米相干光源这块实现了突破,虽说离成熟的 EUV 光刻机还有段路要走,但那道又厚又难破的技术大门,总算被我们撬开了一条缝。此外,上海微电子的 90 纳米光刻机早已实现量产商用,28 纳米浸没式机型也顺利通过产线验证,同时,国产刻蚀机、薄膜沉积设备于市场的占有率正逐步攀升。
更令人称奇的是那些低调却关键的进展,浙江大学的“羲之”电子束光刻机精度达零点六纳米,现仍处于测试阶段,不得不承认,其距离替代EUV光刻机还有相当长的路要走。但说明了一个道理,中国没有把鸡蛋全放一个篮子,主路被堵,就开岔路,岔路慢,就先做备选,这看似笨,实则稳得很。
最硬气的回应,来自生产线,买不到EUV,就把现有DUV用到极致,多重曝光工艺把一道光刻拆成几道,成本高、流程复杂、良率控制难,但结果摆在眼前,7纳米芯片,照样造出来,路被堵了,不代表走不出去。
这场封锁像一记重锤,砸碎了“全球化条件下靠买设备就安全”的幻想,却激发了自主可控的决心,光源、物镜、工件台、光刻胶,每个零件都在被重新定义,十万多个精密部件,不再只是机器,而是一场全产业链的考试。
到了2026年春天,ASML在资本市场尝到了苦头,而中国半导体产业正在经历深刻蜕变,封锁能卡住设备,却卡不住想赢的心。
